用途：

测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与奈米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

特点：

1. Z轴光學尺分辨力为0.1μm

2. X、Y轴採用空气轴承、花岗石导向，保证了机械系统的精确稳定，提高了测量精度

3. X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳

4. 同轴光/底光测量

5. 内建偏光测量光学模块

6. 自主开发QMS3D-M軟體，高清晰进口1/2"彩色摄像机

7. 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，可适应复杂工件的测量

8. 可实现Z轴自动对焦

9. 具有偏光和DIC检测功能

10. 可搭配白光奈米检测模块测量奈米级厚度

技术规格参数：

型号		MTM-6090H
工作台	玻璃台尺寸(mm)	1070 x 640
	X、Y轴运动行程(mm)	600 x 900
Z轴行程(mm)		200
外形尺寸(mm)		1800 x 1350 x 1450
仪器重量(kg)		1500
X、Y轴光學尺分辨力(μm)		0.5
Z轴光學尺分辨力(μm)		0.1
示值误差(μm)		E1XY=( 2.5+ L/200) μm  (L为测量长度，单位mm)
物镜放大倍数误差		包括畸变在内的放大率误差≦0.08%
落射照明光源		可调高亮度卤素灯
底光照明光源		可调高亮度LED灯源
		目视系统	影像系统
物镜放大倍数		5X、10X、20X、50X(可选配100X)	5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜
目镜放大倍数		10X双镜筒	1/2”CCD摄像机
视频总倍率		50X ~500X	142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900)